产品特点：

1.卓越的工艺性能：离子密度和能量，高蚀刻量大，均匀性稳定。

2.高度集成，占地面积小，产能高，用气量小，使用成本低。

3.人性化设计：中英文界面友好，方便作业。

 以上介绍和数据为参考值，请客户以实际测试为准